공지사항
- [행사] 2023 중장기 로드맵 WORKSHOP 2023-08-31
- [행사] 2023 SEMICON WEST 참가 2023-08-09
- [축하] 2023년 상반기 우수 기업 연구소 지... 2023-08-04
- [축하] 2023년 우수기업연구소육성사업(ATC+... 2023-07-06
제품소개
-
PLASMA SCRUBBER - YPS-04F
용수 (NPW) 사용량 “0”인 반도체 공정 가스 처리용 친환경 플라즈마 스크러버 시스템 -
PLASMA SCRUBBER - YPS-04U
용수(NPW) 사용량을 최소화한 저유지비용 친환경 플라즈마 스크러버 시스템 -
PLASMA SCRUBBER - HPS-04D
반도체 공정에서 발생하는 PFC계 가스를 분해/처리 하는 표준 플라즈마 스크러버 시스템 -
PLASMA SCRUBBER - HPS-04M
가스 누출 걱정 없는 반도체 공정 가스 처리용 플라즈마 스크러버 시스템 -
PLASMA SCRUBBER - HPS-04R
반도체 공정에서 발생하는 PFC계 가스를 분해/처리하는 표준 플라즈마 스크러버 시스템 -
PLASMA SCRUBBER - HPS-04S
Plenum Fab.에 최적화된 반도체 공정 가스 처리용 소형 플라즈마 스크러버 시스템 -
HEAT WET SCRUBBER - YHS-04W
가스 사용량이 많은 LCD/OLED 제조공정에 적합한 히터 스크러버 시스템 -
CATALYST SCRUBBER - ING
촉매를 적용하여 사용전력 저감을 구현한 플라즈마-촉매 하이브리드 스크러버 시스템
