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공지사항
  • [행사] 2024 영진아이엔디(주) 송년의 밤 2024-12-24
  • [축하] 2024년 경기도 유망에너지기업 지... 2024-10-11
  • [축하] 2024년 우수환경산업체 지정 2024-10-01
  • [행사] 2024 SEMICON WEST 참가 2024-07-17
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제품소개

  • PLASMA SCRUBBER - YPS-04F

    용수 (NPW) 사용량 “0”인 반도체 공정 가스 처리용 친환경 플라즈마 스크러버 시스템
  • PLASMA SCRUBBER - YPS-04U

    용수(NPW) 사용량을 최소화한 저유지비용 친환경 플라즈마 스크러버 시스템
  • PLASMA SCRUBBER - HPS-04D

    반도체 공정에서 발생하는 PFC계 가스를 분해/처리 하는 표준 플라즈마 스크러버 시스템
  • PLASMA SCRUBBER - HPS-04M

    가스 누출 걱정 없는 반도체 공정 가스 처리용 플라즈마 스크러버 시스템
  • PLASMA SCRUBBER - HPS-04R

    반도체 공정에서 발생하는 PFC계 가스를 분해/처리하는 표준 플라즈마 스크러버 시스템
  • PLASMA SCRUBBER - HPS-04S

    Plenum Fab.에 최적화된 반도체 공정 가스 처리용 소형 플라즈마 스크러버 시스템
  • HEAT WET SCRUBBER - YHS-04W

    가스 사용량이 많은 LCD/OLED 제조공정에 적합한 히터 스크러버 시스템
  • CATALYST SCRUBBER - ING

    촉매를 적용하여 사용전력 저감을 구현한 플라즈마-촉매 하이브리드 스크러버 시스템

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